高温探针台系统
加热台台体重60公斤
4″卡盘(卡盘大小可选)
卡盘X/Y方向行程:4″(行程可选),移动精度10μm
θ向旋转360°转动,旋转微调+-15°,调节精度0.1°
卡盘快速升降范围4mm,可调节显微镜在 X-Y 平面2"x2"范围内移动,精度1微米,真空开关独立控制卡盘上吸附空和吸附环
水箱(风扇热式水冷却机)
尺寸:460mm宽x360mm长x650mm高
重量:34KG
双路水冷循环
流量:20L/min
额定值:220V 50HZ 1.9A
温度控制器
室温加温到300度,任何一区段+-1%;设定温度大于300度时+-1.5%
50段程序编排,前30段具备自动跳转功能
光源
150W 高功率白色照明灯源(亮度可以无级调节)