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MOCVD顶层隔热屏选择金属钼的优势
发布时间:2024-05-09        浏览次数:16        返回列表

  1. 高温稳定性:钼在高温下具有较好的稳定性,能够适应MOCVD工艺的温度环境。

 

  2. 良好的导热性:钼的导热性能良好,有助于降低设备内部的温度,避免热量累积造成的不良影响。

 

  3. 耐腐蚀性:钼具有较好的耐腐蚀性,能够有效抵抗气体腐蚀,延长设备的使用寿命。

 

  4. 热膨胀系数适中:钼的热膨胀系数适中,与MOCVD工艺所需的材料相匹配,不会产生因热膨胀系数不同而导致的界面应力产生和疲劳问题。

 

  5. 优异的电性能:钼具有较好的电性能,能够满足MOCVD工艺的电气要求。

 

  6. 较高的折射率:钼的折射率较高,有利于提高薄膜生长的光学性能。

 

  7. 较低的成本:相对于其他高温材料,钼的价格相对较低,选择钼作为隔热屏材料可以降低生产成本。

 

 

  综上所述,金属钼在MOCVD顶层隔热屏的应用中具有高温稳定性好、导热性能好、耐腐蚀性强、热膨胀系数适中、电性能优异等优点,同时还可以降低生产成本。

 

 
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