企业特殊行业经营资质信息公示
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主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。
产品说明：
★加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
★绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等
★绝缘子： 高纯刚玉
★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。
★控温段：3段、5段、9段控温
用途：
★半导体扩散炉烧结炉等
★满足4"-8"圆晶扩散炉"
★完整的产品系列
★进口替代
★材料及制造技术，指标优异
★使用温度：室温-1400℃±0.5℃
★高温型、普通型、快速升降温型
