用于半导体和LCD的*高等级的无风皱纹。
降低成本,提高产量,改善质量,提高生产率,Bartlink
TAS-34 BA可实现低成本所需的一切
产品特点 | 利用 | |
|
|
TRINC放电针寿命长。轻触即可完成维护,但在某些情况下会忘记维护。如果长时间使用,离子放电针可能会磨损,性能可能会下降,并且可能无法获得预期的效果。建议定期更换离子放电针。
- 无风静电消除
- 请勿在无尘室或无尘工作台等清洁环境中吹气或鼓风。
清洁环境的基本原理是使用HEPA过滤器过滤空气,并使用向下流动的层流收集颗粒。
如果向下流动的层流受到干扰并引起湍流,则该原理将不起作用,并且
洁净室和洁净工作台本身的存在价值将丧失。
洁净室和洁净工作台中的防静电措施必须无风且应清除静电。
- 通过反馈控制获得**离子
- 传统静电消除器中使用的离子平衡传感器受到外部电场的强烈影响。
例如,当一个带电的人或手接近静电消除器时,它会发射许多极性相反的离子,以消除带在该人或手上的静电。即,用离子平衡平衡的离子照射工件,该离子平衡与静电消除目标无关。
TRINC开发了一种电场校正型离子平衡传感器来解决此问题。
该技术的特点是,即使人们经过或接近,它也将
继续提供具有良好离子平衡的高质量离子,而不受此类干扰的影响,并将执行稳定,安全的静电消除。
- N2护套
- 以前,您只能在吹气和N2吹气之间进行选择。
因此,当使用N 2时,即使对于N 2护套,也需要与鼓风相似的流量,并且消耗了大量的N 2气体。
TRINC通过独立流动两种气体来消除这种浪费。
大量空气可以吹送,同时少量N2气体可以同时吹入N2护套。
- 吹气
- 提供独立于N2护套的空气流动路径以实现自由流动控制。而且,空气质量并不重要。
已经出现了不需要空气过滤器的划时代的系统。
- 无泄漏
- 由于离子发生器是高压设备,如果在潮湿的地方或与空气一起使用,它将泄漏。
特别是潮湿的空气由于绝热膨胀而导致结露,并导致漏电。
Trink通过将高压部分与空气隔离来解决了这个问题。
- 高离子平衡
- 在常规的脉冲型静电消除器的情况下,离子平衡起伏很大。
由于离子以脉冲+-交替发射,因此+离子
到达时离子平衡变为+,而离子到达时离子平衡变为+ 。即,离子平衡也以脉冲方式波动。
此外,增加了静电消除器的系统漂移,并且实际上发生了大量的离子平衡波动。
尽管其取决于脉冲频率而变化,但是通常观察到数十至数百V的离子平衡。
这可能会损坏半导体,因此需要小心。
- 维修方便
- ・易于清洁放电针
- ・一触式更换放电针
- ・仅更换排放针,维护成本低
- ・放电针清洁套件(可选)
- 第一次衰减时间
- ・高速静电消除
- ・通过可变螺距方法(定制)可变静电消除速度