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“高精度电容式位移传感器微位移位移传感 Microsense位移传感”详细介绍

Microsense高精度电容式位移传感器、微位移传感器、纳米定位位移传感器、电容式微位移传感器

Microsense（美国KLA子公司） 高精度电容式位移传感器
原装进口，中国区总代理—岱美仪器技术服务（上海）有限公司

联系方式：010-62615735、13521289948（贾先生）

联系地址：北京市房山区长阳镇启航国际3期5号楼801

公司网站：www.dymek.cn

一、优势简介：

Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

二、特点：

1 近距离高精度非接触式位置测量

2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌

3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。

4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选

三、型号简介：

1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承

机床主轴。

主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

四、性能：

1）   测量距离--± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择

2）   高测量带宽（高频率响应）可选-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

3）   适用于任何接地，导电的目标--材料或表面光洁度对精度没有影响

4）   高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

5）   5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定

五、应用：

           1 定位功能 ：

          1）用于伺服反馈传感器纳米定位器   

          2）快速机床**系统定位

           2 距离和位移测量：   

          1）尺寸测量和检验    

          2）转轴位移测量

3 跳动测量：

1）精密马达和转轴的跳动测量

2）主轴计量与主轴跳动测量  

3）精密样品台的直线度和平面度测量

4 厚度测量 ：

1）磁性介质厚度测量

2）蓝光光盘模具厚度测量

5 自动对焦和调零：

半导体晶片表面检测（聚焦平面控制）

6 振动测量：

1）精密工作台振动测量  

2）传动轴振动测量  

3）主动隔震系统伺服反馈系统

应用示例】

平面度测量：

直线度测量：

转轴跳动测量：

供应商信息

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岱美仪器技术服务（上海）有限公司（下面简称岱美）成立于****年，是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商，主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。 自****年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、**、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾等地区。 主要产品包括有：晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面／球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。 岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师，能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务；为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求，岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练，务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。