深圳市英能电气有限公司创立于2015年,是一家公司集真空镀膜电源的研发,生产与销售为一体的高新企业。我公司已获得GJ高新企业认定,通过***:2015认证,拥有软件著作权及实用新型共13份。公司产品已获得CE认证,并通过ROHS测试。
我公司电源以自主研发和制造为主,专业为客户提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。公司产品可满足真空镀膜行业的各种需求,主要有直流磁控溅射电源,单极性磁控溅射电源,脉冲偏压电源,中频磁控溅射电源,离子源电源/高压离子源,HVMS 高压脉冲电源,弧电源等。公司本着“ 以质量求生存,顾客至上” 的原则,以创新,精细的专业知识致力于为客户提供专业,**的服务。
采用高频逆变方式及**的IGBT功率模块,有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数;膜层致密、光洁度较好;具有效率高、运行稳定等优点 。
可按客户具体要求定制!
一、应用领域
1、单极性磁控溅射靶材
2、金属膜、碳膜和部分氧化物
3、氮化物及碳化物膜
二、 主要特点
1、具备过压、过载和过热等保护
2、多功能触摸屏、操作简单
3、电弧反应灵敏
4、有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数
5、默认恒流模式,可选恒流、恒压、恒功率模式
6、外部接口:RJ45、RS485
7、通讯模式:RJ45、RS485、WIFI
8、工作效率:≥90%
9、控制精度:≤1%
10、绝缘等级:B级
11、防护等级:IP20
12、外壳电阻:≥200MΩ
13、使用环境温度:-20~+45℃
14、环境湿度:≤85%
三、主要技术参数
项目 Item | 型号 Model | ||
PM-10 | PM-20 | PM-30 | |
输入电压 Input | 三相交流380V +5%,50~60 Hz Three-phase AC 380V +5%, 50~60 Hz | ||
输出频率 Frequency | 40~80kHz | ||
占空比 Duty | 10%-80% | ||
输出电压 Voltage | 10~1000V | ||
输出电流 Peak Current | 10A | 20A | 30A |
输出功率 Peak power | 10KW | 20KW | 30KW |
通讯方式 Interface | RJ45、RS485、WIFI、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 RJ45、RS485、WIFI、Optical fiber and other communication ports、MODBUS communication protocol | ||
冷却方式 Cooling | 水冷+风冷 Water + Air | ||
尺寸 Size | 706mm(D)×480mm(W)×225mm(H) | ||
重量 Weight | 约60kg |
联系方式:吴生 13717007958 0755-23248674 QQ:2963884600 邮箱:eps@eps-power.cn