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蓄热式热氧化器RTO采用热氧化法处理中低浓度的有机废气，用陶瓷蓄热床换热器回收热量。其由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。一般分为三项式和旋转式。

催化燃烧法RCO是在催化剂作用下，使有机废气中的有害可燃组分完全氧化为CO2和H2O。它具有以下特点：催化燃烧为无火焰燃烧，安全性好；要求的燃烧温度低，故辅助燃料消耗少。其净化效率高。催化燃烧法已成功地应用于金属印刷、绝缘材料、漆包线、炼焦、油漆、化工等多种行业中净化有机废气。该法需消耗一定热量，适用于处理高浓度、小风量的废气净化。催化剂容易中毒，需定期更换催化剂，不适用于含氯、磷等易使催化剂中毒元素的废气处理。