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企业信息

迈浦特机械（四川）有限公司

实名认证企业认证

成立年份：

2024年

经营模式：

制造商

企业类型：

企业单位

主营产品：

高低温一体机,模温机,冷水机组,TCU温控系统,冷风机

联系地址：

天府大道北段1700号4栋1单元14层1417号

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半导体刻蚀高低温一体机案例｜能耗降低90%的迈浦特技术

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产品

半导体刻蚀高低温一体机案例｜能耗降低90%的迈浦特技术

控温精度

±0.1℃

防爆等级

BT4/CT4

通讯协议

rs485/tcp

单价

66666.00元/台

最小起订

1台

供货总量

15台

发货期限

自买家付款之日45天内发货

有效期至

长期有效

最后更新

2025-06-09 11:28

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产品介绍

加工定制：根据客户要求定制

类型：风冷式冷冻机

型号：MPTD

提供加工定制：压缩机、制冷量、换热器、等等

额定制冷量：5.5~95kw

输入功率：根据客户要求定制

外形尺寸：根据客户要求定制

重量：170~2051kg

应用领域：半导体、电池、汽车零配件等新能源行业。维持刻蚀腔室内晶圆表面温度梯度≤0.1℃，提升芯片良率

冷冻方式：风冷式

规格：MPTD

迈浦特机械高低温一体机针对7nm芯片刻蚀工艺，采用LAUDA Semistat恒温器搭载微区脉冲冷却技术：256个压电喷嘴按晶圆图案分布，液氮在微腔体内汽化吸热（潜热199kJ/kg）。颠覆性在于热电控制原理：半导体热电堆(TEC)通过电流方向切换实现快速制冷/加热，较传统压缩机能耗降低90%。红外反馈系统实时修正热场均匀性，晶圆表面温差控制在±0.1℃。

实测数据表明，设备在刻蚀工艺中升温速率达40℃/s，将SiO₂刻蚀速率波动从±15%压缩至±3%。配合R23制冷剂，热响应时间＜0.1秒，使晶圆边缘与中心温度差从常规设备的5℃降至0.5℃。全氟聚醚介质（介电常数<1.5）避免电磁干扰，保障刻蚀精度。该方案已应用于3D NAND闪存生产线，良率提升12%