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企业特殊行业经营资质信息公示
三级复叠制冷+高温油导热保障精度:
深冷生成:三级压缩机(R508B/R23/R404A)逐级降温至-110℃,蒸发器采用铜管螺纹设计提升散热效率40%。高温控制:耐高温硅油经电加热器升温至300℃,高温屏蔽泵输送至晶圆夹具。快速响应:板式换热器与循环泵直连,-65℃→125℃切换<5分钟,温度均匀性≤±1℃。压力调节:出口减压阀+变频泵自动控制流量,适应晶圆表面微区温差需求
