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企业信息

迈浦特机械（四川）有限公司

实名认证企业认证

成立年份：

2024年

经营模式：

制造商

企业类型：

企业单位

主营产品：

高低温一体机,模温机,冷水机组,TCU温控系统,冷风机

联系地址：

天府大道北段1700号4栋1单元14层1417号

18181998470

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半导体芯片测试专用高低温一体机：-80℃~300℃**动态控温

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产品

半导体芯片测试专用高低温一体机：-80℃~300℃**动态控温

控温精度

±0.1℃

控制方式

PLC

防爆等级

BT4/CT4/CT6

单价

99999.00元/台

最小起订

1台

供货总量

111台

发货期限

自买家付款之日40天内发货

有效期至

长期有效

最后更新

2025-07-21 09:23

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产品介绍

加工定制：根据客户要求定制

型号：MPTD

温度范围：-80~300℃

工作室尺寸：根据客户要求定制

温度波动度：±0.1℃

温度均匀度：±0.1℃

控温方式：压缩机制冷、导热油加热

适用范围：芯片老化测试：-40℃~150℃循环冲击试验；晶圆光刻：恒温±0.1℃维持曝光精度；功率模块测试：IGBT模块高温满负荷运行验证

规格：温度范围：-80℃~300℃；控温精度：±0.1℃（PT1000传感器）；降温速率：3℃/分钟（200℃→-80℃）；通讯协议：RS485+Modbus，支持SECS/GEM半导体协议；洁净等级：Class 10级无尘设计

迈浦特机械高低温一体机针对半导体制造对温度波动的高敏感性，设备采用三阶动态控温技术：快速响应阶段：导热油经磁力驱动泵（无金属接触）输送至板式换热器，制冷单元按需输出冷量（比例调节非启停式），避免温度过冲；恒温阶段：PLC实时比对晶圆载台温度，通过CIT算法微调加热/制冷功率，抵消设备发热（如激光器）；紧急冷却阶段：突发断电时，备用蓄冷罐自动释放-40℃冷媒，维持关键部件降温。核心技术包括：双循环隔离设计：洁净循环（去离子水）与主系统通过钛合金板换换热，杜绝油污染；振动抑制：涡旋压缩机+软管减震支架，确保晶圆台振幅＜5μm；数据追溯：7英寸触摸屏记录温度曲线，导出Excel报告符合ISO 14644标准