半导体晶圆制造专用高精度高低温一体机 无尘室**恒温控温设备

MAIPT迈浦特高低温一体机——在晶圆制造的光刻与刻蚀步骤中，工艺腔室对温度偏移极其敏感，微乎其微的热波动就会导致关键尺寸偏离。这款高低温一体机是专为半导体制程设计的高精度模温设备，采用去离子水或惰性氟化液作为循环介质，向腔室内部件提供-20℃至120℃的**温度控制，稳态精度高达±0.1℃。为杜绝金属离子和颗粒物对晶圆的污染，所有过流部件均经过电抛光处理，并采用PFA与PTFE密封件，管道系统实施严格的钝化清洗。制冷端由变频涡旋压缩机配合热气旁通技术实现无级冷量调节，加热端则采用低表面热流密度设计以避免局部沸腾。控制系统搭载自适应PID结合前馈算法，一旦侦测到工艺腔室的热负荷突变，可在毫秒级响应并迅速补偿，将供液温度纹波压制在±0.05℃以下。机组还标配在线电导率仪与高精度流量计，对介质品质和流态进行全方位监控。集成于无尘室内的该高低温一体机，是保障半导体**制程热稳定性的基石装备。

产品优势

• 超高控温精度与极低纹波，适应**制程
• 全洁净设计，低金属离子与颗粒物析出
• 无级冷热调节，避免过冲对晶圆的冲击
• 自适应前馈控制，瞬态负荷响应极快
• 低振动、低噪音，匹配微环境

产品原理该设备作为高洁净度要求的模温机，其工作与设计原理根植于精密间接换热。隔膜泵或静音多级离心泵驱动纯净液体在密闭回路中循环，先后流经电加热罐和由全氟材料包裹的壳管蒸发器。精密的电阻温度探测器将信号传给双通道PID控制器。控制器通过4-20mA模拟量分别调节加热相的SCR电力调整模块和制冷相的电子膨胀阀开度，达成热能与制冷量的无限配比。在设计原理上，为阻断外部污染，系统采用全封闭氮气保护膨胀罐来吸收介质热胀冷缩，杜绝环境空气的进入。这种将冷热源融合于单回路并实现无级调温的构造，体现了高标准模温机的设计精髓，**保证了供液温度的洁净与稳定。

• 温度范围：-20℃～120℃
• 控温精度：±0.1℃ （稳态）
• 加热功率：15kW
• 制冷功率：10kW
• 循环介质：去离子水/高纯氟化液