等离子清洗机是高精度的干法清洗等离子面处理设备,经过等离子体清洗设备处理后,材料的表面获得了新的特性,这使得穿透材料获得了特殊材料所特有的表面处理性能。等离子清洗机在等离子体处理的过程中等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源不使用化学试剂,省去了湿法化学处理工艺中所不可缺少的烘干,废水处理等工艺,所以不会造成二次污染。日用品通常由不同的材料制成,包括塑料、金属、玻璃、陶瓷等。等离子体处理过程对处理材料没有选择性处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,均可处理
等离子清洗机能够清除金属、陶瓷、塑料、玻璃表面的有机污染物,可以明显改变这些表面的粘接性及焊接强度。离子化过程能够容易地控制和安全地重复实现。可以说,有效的表面处理对于产品的可靠性或过程效率的提高是至关重要的,等离子表面处理设备也是目前理想的技术。通过表面活化,等离子清洗机可以改善绝大多数物质的性能:洁净度、亲水性、斥水性、粘结性、标刻性、润滑性、耐磨性
在玻璃基板(LCD)上安装裸芯片IC的COG工艺过程中,当芯片粘接后进行高温硬化时,在粘结填料表面有基体镀层成分析出的情况。还时有Ag浆料等连接剂溢出成分污染粘结填料。如果能在热压绑定工艺前用等离子清洗去除这些污染物,则热压绑定的质量能够大幅提升。进一步说,由于基板与裸芯片IC表面的润湿性都提高了,则LCD—COG模块的粘结密接性也能提高,同时也能够减少线条腐蚀的问题。利用等离子清洗的原理来对ITO玻璃进行表面清洁,是比较有效的清洁方法。在对液晶玻璃进行的等离子清洗中,使用的活化气体是氧的等离子体,它能除去油性污垢和有机污染物粒子,因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。通过洗净工艺后的电极端子与显示器,增强了偏光板粘贴的成品率,并且电极端与导电膜间的粘附性也大大改善,从而改善了产品的质量及其稳定性。
下图为 LCD 在等离子清洗前后的接触角对比: