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在光刻胶的去除应用中，微波等离子清洗机可以相当容易完成，而且完成效果很好。 微波等离子清洗杨相比其他技术形式的等离子清洗方式，有着一致性高，对产品无害，清洗彻底的优点。

等离子清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。