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等离子清洗机主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗机通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。

电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理：玻璃基板清洗处理，有机污染物清洗，国防工业的航天连接器表面清洁清洗，通用行业的丝网印刷、转移印刷前面处理等

等离子清洗机对半导体/LED的解决方案，等离子清洗机在半导体行业的应用是基于集成电路的各种元器件及连接线很精细，那么在制程过程中就容易出现灰尘，或者有机物等污染，极其容易造成晶片的损坏，使其短路，为了要排除这些制程过程中产生的问题，在后来的制程过程中导入了等离子表面处理机进行前处理，利用等离子表面处理机是为了更好的保护了产品，在不破坏晶圆表面的性能的情况下，采用等离子清洗机设备进行去除表面有机物和杂质等。