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1.大气压等离子清洗机的分类 
1.1 Corona 电晕等离子 
通常选用空气或许氮气（N2)作为发作气体。特色是气体的需求量十分高，运用氮气时一般需求配备专门的大功率氮气发作器，工业上常用RF射频作为激起动力，频率在40KHZ左右。等离子作业形状以炬式较为多见，条状放电形式使得外表处理后均匀性不高。设备作业进程中会发作超支的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体，必需求配套气体吸出体系一起作业。由于上述特性，Corona 等离子首要适用于对处理效果请求不高，而且后续运转本钱低的职业（可运用空气），比方纺织业等。 
1.2 Glow 辉光等离子 
首要分为两种方法，即腔式与大气压式，此两种等离子技能均为直接式等离子清洗机。 
腔式Glow等离子清洗机的特色是需求一个关闭的腔体，电极内置于真空腔体中，作业时首先用真空泵将腔体内空气吸出构成类真空环境，然后等离子在全部腔体中构成并直接对在内的资料进行外表处理。此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运转本钱较高，首要原因是其真空泵接连作业的功耗较大。另外每次作业时真空环境制造进程需求的时刻较多，对选用自动化生产线及请求处理功率的工业范畴来说，局限性较显着。 
另一种大气压辉光式等离子技能（APPLASMA）,即我司供给之设备,是以RF射频作为激起动力，作业频率是13.56MHZ。选用氩气(Ar)作为发作气体，氧气或许氮气作为反响气体。该等离子清洗机的特色是： 
1. 均匀度高。大气压等离子是辉光式的等离子幕，直接效果于资料外表，试验证实，同一资料不一样方位的处理均匀性很高，这一特性对于工业范畴进行下一环节的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。 
2. 效果可控。大气压等离子清洗机有三种效果形式可选。一是选用 氩气/氧气组合，首要面向非金属资料而且请求较高的处理效果时选用。二是选用 氩气/氮气 组合，首要面向待处理商品有不能被处理的金属区域，因氧气的强氧化效果，替换为此计划中的氮气后，该疑问能够加以操控。三是只选用氩气的状况，只选用氩气也能够实现外表改性，可是效果相对较低。此种状况较特别，是少量工业客户需求有极限的一起均匀的外表改性时选用的计划。 
3. 安全易用。大气压式等离子清洗机，也是低温等离子，不会对资料外表形成危害。无电弧，无需真空腔体，也无需有害气体吸出体系，长时刻运用并不会对操作人员形成身体危害。 
4. 面积宽大。大气压等离子大能够处理2m宽的资料，能够满意现有大都工业资料的外表处理需求。 
5. 本钱低廉。大气压等离子设备功耗低，运转本钱以气体为主。以首要消耗气体氩气为例，同corona等离子气体消耗量比较缺乏其1/20.