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等离子清洗机的作用：材料表面清洗，刻蚀处理，灰化处理，表面活化

等离子清洗机用途

1、等离子刻蚀

在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相，处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。

等离子清洗机用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

2、等离子清洗机涂镀、聚合

在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。等离子清洗机的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。

3、刻蚀和灰化

PTFE刻蚀

PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子清洗机不仅仅保护环境，还能达到更好效果。

等离子清洗机的结构可以使表面**化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。

PTFE混合物的刻蚀

PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。

处理气体可以是氧气、氢气和氩气。等离子清洗机可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

4、等离子清洗机对金属表面去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子清洗机处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

5、等离子处理设备对塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子清洗机的处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。

等离子清洗机的表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理(大于15分钟)，材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有**润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。

材料经等离子清洗机处理前后表面能的变化比对 

上图中是经过等离子清洗机处理后的效果比对照片，处理过的位置材料表面张力极大提高，达到亲水效果，从而使粘接效果得到改善。