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美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中! 上海伯东是美国 HVA 插板阀在China地区only总代理商.                                 半导体管道插板阀应用示意图                                                                       现场图上海伯东美国 HVA 插板阀优势1. 满足高真空（1E10-9  mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级泵, 涡轮分子泵等perfect联用5. 双向密封,*小漏率 < 2x10-9  mbar l/S6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用8. 标准或定制法兰满足不同应用9. **标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, 原装进口美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.

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