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HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计3. 阀动作平稳,振动和冲击小4. 标准接口,或按客户要求定制5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
连接形式: | 标准或定制法兰 |
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主体材料: | 铝 |
公称通径: | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
压力范围: | 1x10E-9 Torr |
烘烤温度: | 《150℃ |
适用介质: | 水、蒸汽、空气 |
密封形式: | 软密封型 |
驱动方式: | 气动 |
使用寿命: | 1000000 启闭次数 |
28200&88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
DN | Model | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
HVA 28200&88200 系列矩形真空板阀部件图
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