Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.涡轮分子泵 HiPace 80 特性稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统结构紧凑, 满足更小的安装空间要求分子泵高气流量和高抽速基本款任意角度安装防护等级 IP 54, 符合工业环境要求可应用于腐蚀性气体工艺分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数
进气口 |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
|
图片 |
|
|
|
||||
分子泵控制器 |
型号 |
标配 |
标配 |
标配 |
选配 |
选配 |
选配 |
抽速 |
Ar L/S |
66 |
66 |
30 |
66 |
66 |
30 |
H2 L/S |
48 |
48 |
38 |
48 |
48 |
38 |
|
He L/S |
58 |
58 |
41 |
58 |
58 |
41 |
|
N2 L/S |
67 |
67 |
35 |
67 |
67 |
35 |
|
压缩比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
H2 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
|
He |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
|
N2 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
全转速时气体流量 |
Ar hPa l/s |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
H2 hPa l/s |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
|
He hPa l/s |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
|
N2 hPa l/s |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
|
极限压力 |
hPa |
<1X10-7 |
<5X10-10 |
<1X10-7 |
<1x10-7 |
<5x10-10 |
<1x10-7 |
**预抽真空 |
N2 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
电压 |
VDC |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
**电流 |
A |
4.6 |
4.6 |
4.6 |
5.5 |
4.6 |
4.6 |
转速± 2 % |
RPM |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
声噪 |
dB(A) |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
允许**磁场 |
mT |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
启动时间 |
min |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
3 |
3 |
3 |
重量 |
kg |
2.4 |
3.8 |
2.4 |
2.1 |
3.5 |
2.1 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
分子泵 |
分子泵电源与控制器连接线 |
风扇 |
OmniControl 200 |
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
分子泵应用 HiPace 80分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术上海伯东客户分子泵应用一:HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.上海伯东客户分子泵应用二:HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体
涡轮分子泵 HiPace 80 目前在售型号:分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 CF-F分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF其他普发分子泵推荐
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