NS离子蚀刻机 10IBE :适合小规模量产使用和实验室研究,一般通氩气 Ar,无污染,内部使用美国 KRI 考夫曼离子源KDC 40 产生轰击离子;终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分,判断刻蚀情况。
基板尺寸 | < φ8 X 1wfr | 可选 |
样品台 | 直接冷却(水冷)0-90 度旋转 | |
离子源 | 4 cm,8cm,10cm,16cm | |
均匀性 | ±6% for 4”Ф | |
硅片刻蚀率 | 20 nm/min | |
温度 | <100 |
伯东离子蚀刻机主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。
3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。
4. 刻蚀角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。
5. 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。
6. 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
7. 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营真空品牌:德国Pfeiffer真空设备;美国BrooksPolycold冷冻机;美国KRI考夫曼离子源;美国HVA真空闸阀:美国inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本NS离子蚀刻机等。
日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS Polycold 制冷机,美国HVA真空阀门,美国 inTEST温度气流控制设备,日本 NS 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。