NS 离子蚀刻机 20IBE-C:适合中等规模量产使用的离子刻蚀机,样品台可选直接冷却 / 间接冷却
基板尺寸 | < φ3 X 8wfr; < φ4 X 6wfr; < φ8 X 1wfr | 可选 |
样品台 | 样品台可选直接冷却 / 间接冷却0-90度旋转 | |
离子源 | 20cm 考夫曼离子源 | |
均匀性 | ±10% for 8”Ф | |
硅片刻蚀率 | 20 nm/min | |
温度 | <100 |
上海伯东主营真空品牌:德国Pfeiffer真空设备;美国BrooksPolycold冷冻机;美国KRI考夫曼离子源;美国HVA真空闸阀:美国inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本NS离子蚀刻机等。
日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS Polycold 制冷机,美国HVA真空阀门,美国 inTEST温度气流控制设备,日本 NS 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。