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企业特殊行业经营资质信息公示

伯东企业(上海)有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    贸易商

  • 荣誉认证:

          营业执照已认证

  • 注册年份:

    1995

  • 主     营:

    氦质谱检漏仪销售维修,涡轮分子泵销售维修,真空计销售维修,高低温测试机,真空阀门,水汽深冷泵,冷冻机,质谱分析仪,考夫曼离子源,旋片泵,罗茨泵,干泵

  • 地     址:

    上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

网站公告
上海伯东代理品牌包含: 德国 Pfeiffer 全系列真空产品, 美国 KRI 离子源, 美国 Brooks Polycold 制冷机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 inTEST (Temptronic)高低温测试机,美国 Ambrell 高频焊接机,日本 NS 离子蚀刻机等
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上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380
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产品: 浏览次数:77上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380 
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最后更新: 2023-07-25 13:58
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详细信息
  • 加工定制:否
  • 型号:RFICP 380
  • 提供加工定制:是|否

射频离子源 RFICP 380

大口径射频离子源 RFICP 380上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, **离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用. 广泛应用于离子束刻蚀机.KRi 射频离子源 RFICP 380 特性1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长. 2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配2. 离子源结构模块化设计3. 离子光学, 自对准技术, 准直光束设计, 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行4. 全自动控制器5. 离子束动能 100-1200eV6. 栅极口径 38cm, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用射频离子源 RFICP 380射频离子源 RFICP 380 技术规格:

阳极

电感耦合等离子体
2kW & 1.8 MHz
射频自动匹配

**阳极功率

>1kW

**离子束流

> 1000mA

电压范围

100-1500V

离子束动能

100-1200eV

气体

Ar, O2, N2,其他

流量

5-50sccm

压力

< 0.5mTorr

离子光学, 自对准

OptiBeamTM

离子束栅极

38cm Φ

栅极材质

离子束流形状

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

38.1 cm

直径

58.2 cm

锁紧安装法兰

12”CF

射频离子源 RFICP 380 基本尺寸:射频离子源 RFICP 380上海伯东美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.作为蚀刻机的核心部件, KRI  射频离子源提供大尺寸, 高能量, 低浓度的离子束, 接受客户定制, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求!射频离子源 RFICP 380

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐

T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161

F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049

M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958

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