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伯东企业(上海)有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    贸易商

  • 荣誉认证:

          营业执照已认证

  • 注册年份:

    1995

  • 主     营:

    氦质谱检漏仪销售维修,涡轮分子泵销售维修,真空计销售维修,高低温测试机,真空阀门,水汽深冷泵,冷冻机,质谱分析仪,考夫曼离子源,旋片泵,罗茨泵,干泵

  • 地     址:

    上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

网站公告
上海伯东代理品牌包含: 德国 Pfeiffer 全系列真空产品, 美国 KRI 离子源, 美国 Brooks Polycold 制冷机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 inTEST (Temptronic)高低温测试机,美国 Ambrell 高频焊接机,日本 NS 离子蚀刻机等
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上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40
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产品: 浏览次数:65上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-07-25 13:32
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详细信息
  • 加工定制:否
  • 型号:KDC 40
  • 提供加工定制:是|否

考夫曼离子源 KDC 40

KRI 考夫曼离子源 KDC 40上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40: 小型低成本直流栅极离子源. KDC 40 是 3cm 考夫曼型离子源升级款. 具有更大的栅极, 更坚固, 可以配置自对准第三层栅极. 离子源 KDC 40 适用于所有的离子工艺, 例如预清洗, 表面改性, 辅助镀膜, 溅射镀膜, 离子蚀刻和沉积. 离子源 KDC 40 兼容惰性或活性气体, 例如氧气和氮气. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA.KRI 考夫曼离子源 KDC 40 技术参数

型号

KDC 40

阳极

DC 直流

阳极功率

100W

*大离子束流

>100mA

电压

100-1200V

气体

惰性和反应气体

进气流量

2-10sccm

压力

<0.5m Torr

离子光学(自对准)

OptiBeamTM

离子束直径

4cm Φ max

栅极

钼和石墨

离子束形状

聚焦, 平行, 散射

高度

16cm

直径

9cm

KRI 考夫曼离子源 KDC 40 应用领域溅镀和蒸发镀膜 PC辅助镀膜(光学镀膜)IBAD表面改性, 激活 SM离子溅射沉积和多层结构 IBSD离子蚀刻 IBE

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐

T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161

F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049

M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958

www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

 

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