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残余气体分析仪 Hicube RGA上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
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涡轮分子泵组 |
HiCube™ Eco |
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功耗 |
170W |
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电压（范围） |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
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氮气抽速 |
67 l/s |
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前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 |
1 m3/h |
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极限真空 |
<1X10-7 hPa |
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真空计 |
PKR 361 |
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测量范围 |
1X10-9 至 1X103 hPa |
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阀门 |
EVN 116 |
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气体流量 |
可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
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进气口 |
DN 16 ISO-KF |
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PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四极杆直径／长度 |
6 /125 mm |
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最小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重复性 |
± 0.5 % |
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接口 |
以太网 |
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电源电压 |
100–240 V AC，50/60 Hz |
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HiCube™ RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
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残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
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