企业特殊行业经营资质信息公示
营业执照已认证 
点击图片查看原图日本伯东株式会社，成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司，公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业（上海）有限公司的总部在上海，同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌，代理品牌包含：德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS Polycold 制冷机，美国HVA真空阀门，美国 inTEST温度气流控制设备，日本 NS 离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商，负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海，深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心，可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作，****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析质谱仪 QMG
应用于分子束外延(MBE)系统
分子束外延(MBE)是一种晶体生长技术，将半导体衬底放置在超高真空腔体中，和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中，由分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流能在衬底上生长出极薄的，可薄至单原子层水平，单晶体和几种物质交替的超晶格结构。
分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。该方法生长温度低，能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度。
分子束外延系统对真空度要求及其高，对真空腔体的密封性、材料放气率、微量杂质气体和水蒸气比较敏感，本系统采用上海伯东德国
Pfeiffer 残气质谱仪 QMG
对超高真空腔体进行检漏，及材料放气组分及水汽进行分析，确保超高真空及真空的稳定性，对晶格的生长起到很好的作用。
客户案例：上海某研究所 MBE 超高真空系统
系统运行条件：
1. 主要针对 ZnO 等金属氧化物外延生长
2. 超高真空生长室，配有上海伯东德国 Pfeiffer残余气体分析质谱仪 QMG+液氮冷屏;
3. 配有12个加热泄流源.
4. 衬底加热器加热温度1200℃
5. SiC 衬底加热器可以在氧气环境下工作;
6. 线型进样室实现全自动送片
配套 Pfeiffer QMG 残余气体分析质谱仪配置:
1.测量范围:1-100amu
2.检测器:Faraday/C-SEM
3.烘烤温度:200℃
4.离子源:Grid ion source
5.灯丝:Yttriated iridium
6.配有软件及I/O模块
Pfeiffer 残余气体质谱分析仪与友厂同级别质谱分析仪相比，更适用于移动应用，并且提供高解析度和灵敏度，可对气体进行定性和定量分析，应用范围广泛，从大气压力到高真空均可使用。
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源离子枪霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
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上海伯东：叶小姐
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