点击图片查看原图适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，
同一台设备可编程多套运行软件 根据工艺需求，
槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环过滤等功能 全自动控制，
可选择自动配补液，保证了操作的安全稳定性
高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠 机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户需求
采用国际知名电气元件
全自动碱腐蚀机
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全自动碱腐蚀机
详细信息
适用于多种规格硅片的腐蚀清洗， 同一台设备可编程多套运行软件 根据工艺需求， 槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环过滤等功能 全自动控制， 可选择自动配补液，保证了操作的安全稳定性 高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠 机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户需求 采用国际知名电气元件
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