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实验室检查气路是否泄漏的方法分为A、B、C三级
A级试漏： 对气路严重泄漏的最粗略观察。通常在气源打开并稳定之后，不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声，如听到明显的漏气声，说明系统有大漏！必须依据漏气声，追查出泄漏处，并加以排除。引起系统大漏的常见原因是：气路接头没上紧，气路中管路开裂及没加合适的垫片等。查找气路的严重泄漏，也可在流路的流量开到时，用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
B级试漏：
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口，观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零，即可认为此气路B级试漏合格。如转子不能降到零，可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
C级试漏： 对气路中极小漏气的检查。方法是堵住气路出口，观察系统压力表，不得在半小时之内有5kPa（相当于0.05kgf/cm2）以上的下降。此时系统压力应 在0.25MPa（相当于2.5kgf/cm2）以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时，可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处，而气路阀件内部的泄漏也时有发生，至于管路中间的泄漏，除了急转弯处以外是很少见的。
1、外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯气体管道不仅有锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及保证的彻底吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求。为了确保自动轨道焊接的质量和效率,尺寸公差当然也是最基本的要求。
2、内在的纯净指纯净的材质:真正意义上的超纯,气体管道仅有漂亮的内外表面是远远不够的,对管道系统的材质也有非常苛刻严格的要求,无论对化学成分和机械性能都有一定的定义。所以我们提到的纯净管道是由纯净的316L制成,指不锈钢中的不纯物尽量降到一定范围内,非金属夹杂物以及气体成分控制在最小极限，而高纯洁净管的级别可分为BA和EP级，超高纯电子特气管道系统用的一般是316LEP级的不锈钢管，就是电解抛光不锈钢管。
