江苏英思特半导体科技有限公司 已通过实名认证

信息来源：江苏英思特半导体科技有限公司

选配模块：1.蚀刻液在线降温系统（0℃以下，±0.5℃）

                  2.蚀刻液循环过滤系统

                  3.漏液检测系统

                  4.水阻率监测系统

                  5.花篮（哇晶片）旋转系统，转动速度可调

                  6.自动供给CDS（微补）系统

                  7.废液回收系统

                  8.可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理

                  9.纯水节省功能，纯水排放分为回收水管路和废水排放管路，通过程序可以   设定回收纯水的倒洗开始周                          期，  以及开始回收的任意时间节点，待料时慢速溢流流纯水实现回收使用