设备特点:全自动Wet Station;采用快速传送的System;药液寿命全自动管理可能;在线加热方式;
对应0.2μm Device可能有效节省能源类型的设备;
设备尺寸:L4.5m x W1.1m x H2.0m;
炉管尺寸:Ф300 x max 3500(mm)(根据客户需求定制);
清洗步骤:放置炉管->注酸->浸泡-> 酸回收->DIW喷淋->排水->气枪吹干->取出炉管;
主要特点:进口耐酸材质外型美观炉管正反转清洗,自/手动换液清洗,循环过滤系统;
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十槽全自动RCA湿处理清洗设备
详细信息
设备特点:全自动Wet Station;采用快速传送的System;药液寿命全自动管理可能;在线加热方式; 对应0.2μm Device可能有效节省能源类型的设备; 设备尺寸:L4.5m x W1.1m x H2.0m; 炉管尺寸:Ф300 x max 3500(mm)(根据客户需求定制); 清洗步骤:放置炉管->注酸->浸泡-> 酸回收->DIW喷淋->排水->气枪吹干->取出炉管; 主要特点:进口耐酸材质外型美观炉管正反转清洗,自/手动换液清洗,循环过滤系统; |