江苏英思特半导体科技有限公司 已通过实名认证

设备简介：主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产，扩散前的绒面腐蚀和清洗。2）工艺流程：上料-HF+HNO3腐蚀-QDR+氮气鼓泡+喷淋-KOH腐蚀-QDR+氮气鼓泡+喷淋-HCI腐蚀-QDR+氮气鼓泡+喷淋-下料-离心机甩干（离线）。3）设备采用龙门式机械手方式移动，其工艺时间可以自行调节，酸碱槽具有自动补液装置，可实现无间断生产。能显示温度曲线、浓度变化曲线，及各个工作的工作状态。具有设备报警说明，报警历史查询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置，能储存10个以上工艺方案；4）标准工艺下产量：125m×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片，适用于投产厚度为160±30~200±30微米的硅片，硅片产能不低于1200片/小时。