仪器特点
◆ 超精密全自动测量,四轴CNC控制;
◆ 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好;
◆ 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统;
◆ Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好;
◆ TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量;
◆ 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源;
◆ 自动对焦测高,可加装接触式测头;
◆ 提供多种行程规格配置,如222、322、432等。。
技术参数
型号 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
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行程(mm)* |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
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外型尺寸(mm) |
1040×740×1620 |
1040×740×1620 |
1240×800×1620 |
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重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
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测量精度 |
XY轴** |
E2=(1.5+L/300)μm |
E2=(1.9+L/300)μm |
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Z轴*** |
E1=(5.0+L/200)μm |