一、产品简介
KBX-618A是光电行业ITO专用蚀刻液,专门针对氧化铟锡(ITO)导电薄膜镀层图线的蚀刻,它对于高阻抗ITO导电膜(PET-ITO)以及低阻抗ITO导电膜(PET-ITO)都且有优良的蚀刻速度与效果。具有速度快、侧蚀小、无沉淀、气味小、不攻击抗蚀层,不攻击基材,不影响不改变光电阻抗数据,操作控制简便灵活等非常显著的优点,可采取自动控制系统补加,也可人工补加方式。
二、产品特点
1) 速度快
市场之一般ITO蚀刻液速度大都在0.5nm/s,而KBX-618A酸性ITO蚀刻液蚀刻速度正常
控制在2-10nm/s,速度快(具体设备情况有所差异)
2) 气味小、无烟雾、对皮肤刺激**
目前市场蚀刻液一般有强烈之氯气味,温度升高后放出一种刺鼻气味,对操作人员身体健康和工作环境极为不利,但KBX-618A酸性蚀刻液采用的是有机添加剂不含氯酸盐氧化剂本身之气味,使用过程中,只具有轻微之酸气。
3) 侧蚀小
因KBX-618A本身含有多种高效之防侧蚀剂,可**限度减少侧蚀,并可以做高精度图形。
4) 适用性广
全配方是通过严格的科学实验而选用的蚀刻原料,配以高分子材料保护剂,可适用于有机基材膜,及各类玻璃底材,不攻击底材,不攻击抗蚀膜,不影响生产材料导电阻抗数据。
5)用量
主要是工作件带出损耗,更缸时间长,可连续作业一个月以上。
三、原理
KBX-618A酸性ITO蚀刻液里含有的高分子添加剂,多种助剂通过科学的组合配比遇ITO面上形成一种极薄的膜,通过喷射解体,压力正面膜解结,图形边沿侧面的膜因压力太小而不解结,所以起到保护边沿线路,防侧蚀作用,而下面解结后,使氧化铟锡材料成份最外层电子运行加速,使铟锡更活泼,使铟锡硅物质更易变成离子溶液,从而促进蚀刻有效反应的加速进行。
还有防沉淀剂及调整剂,保护剂,能在保证蚀刻快速进行的条件下,防止蚀刻液对工作件基材的攻击,以及防止对抗蚀层的攻击。
平衡稳定剂则能持续的保证蚀刻速度快速稳定的进行,防止速度波动过大,给生产操作带来不便。