隔振系统分类
隔振系统总体分成被动式和主动式两大类。
主动式隔振系统价格昂贵,并且需要对现场环境的振动特性进行有针对性的设计,通常仅用在特殊场合,例如隔绝2Hz以下的超低频振动用于地震波测量。
被动式隔振系统通常可以胜任绝大多数情况,从普通的大学实验室到高端的晶圆生产线。我公司主要提供被动式隔振系统,具体产品形式有两种:气囊式和活塞式。相关产品在尼康、基恩士和奥林巴斯等高端显微镜的具体应用中表现出良好的隔振效果。
被动隔振在低频段的效果较差。根据振动理论,无动力的机械系统,对低频激励有跟随特性,而对高频激励有明显的衰减作用。被动隔振,只有当工作频率大于系统(隔振器和设备)共振频率时才有隔振效果,简单讲,隔振器就是一个弹簧和一个阻尼器,将设备和基座连接在一起。低频段隔振,意味着系统的共振频率必须做的很低,那么隔振器的弹簧就要很软,也就是弹簧的刚度要小,而很软的弹簧其强度和稳定性都受到限制,因此被动隔振在低频段的隔振效果很差,甚至起不到隔振效果。
两种产品形式的区别在于:一、气囊式。其类似于汽车轮胎的缓冲原理,适合于低端场合。二、活塞式。其金属气室具有活塞式结构,隔振效果主要由气室压力和系统阻尼决定,隔振性能明显要优于气囊式。