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河南诺巴迪材料科技有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    制造商,贸易商

  • 荣誉认证:

          营业执照已认证

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    烧结炉,管式炉,气氛保护炉,马弗炉,箱式炉,退火炉,义齿烧结炉,烤瓷炉

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均温氧化扩散炉T1200-250T3诺巴迪厂家直销
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产品: 浏览次数:51均温氧化扩散炉T1200-250T3诺巴迪厂家直销 
额定温度: 1150℃
升温速率: ≦15℃/min
单价: 228000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 50 台
发货期限: 自买家付款之日起 10 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-09-11 15:18
  询价
详细信息
  • 是否现货:是
  • 用途:应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸
  • 型号:T1200-250T3

设备简介:
  均温氧化扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。

设备特点:

 1.温场均匀,恒温区长度及精度:300~1250mm  800~1200℃±1℃

 2.具有强大的软件功能,NBD-101EP嵌入式操作系统,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件;  3.程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;  4.具有多种工艺管路,可供用户方便选择;  5.冷端检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 

 6.可存储多组PID参数供系统运行调用功能,具有多点温度补偿 7.气体流量采用数字化**控制,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能;  8.具有多种报警功能及安全保护功能; 9.恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度;  10.压力自动调整技术,将压力参数引入晶体硅氧化工艺,有效减小了尾部排风对工艺的干扰,减小由排风引起的工艺波动。

服务支持:一年有限保修,提供终身支持。


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