设备简介:
均温氧化扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
设备特点:
1.温场均匀,恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1200℃±1℃
2.具有强大的软件功能,NBD-101EP嵌入式操作系统,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件; 3.程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 4.具有多种工艺管路,可供用户方便选择; 5.冷端检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰;
6.可存储多组PID参数供系统运行调用功能,具有多点温度补偿 7.气体流量采用数字化**控制,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能; 8.具有多种报警功能及安全保护功能; 9.恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度; 10.压力自动调整技术,将压力参数引入晶体硅氧化工艺,有效减小了尾部排风对工艺的干扰,减小由排风引起的工艺波动。
服务支持:一年有限保修,提供终身支持。