精密气浮光学平台

应用领域：适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等现代光学、物理力学领域应用。

产品特点：

◆普竞思科技依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。

◆优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统，具备**的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。

◆自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品，标配进口无油压缩机。

◆台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为 1cr17 **高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果， 面板具有 M6 螺

纹孔阵列，易于固定光学元件。

◆隔振支撑为**钢管焊接而成，整体坚固稳定。

◆工作压力为 0.35~0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

技术特点：

◆平面度:< 0.05mm/m2

◆M6 螺纹孔/孔间距 25X25mm

◆表面粗糙度:< 0.8μm

◆固有频率：X 方向:1.0Hz~1.5Hz；Y 方向：1.0Hz~1.5Hz

◆减振效率：X 方向< 5Hz 时:88%~94% ；Y 方向<5Hz 时:86%~92%

X 方向<10Hz 时:92%~98% ；Y 方向<10Hz 时:90%~95%

◆振幅:< 1μm

◆荷载能力:800kg/m2

◆重复定位精度:±0.05mm

产品型号：（可根据客户要求定制不同尺寸）