1.一键式全自动执行清洗和吹干动作,整个过程无需人工干预。
2.采用彩色触摸屏作为人机操作界面;集成操作和错误、报警显示。
3.出水压力可调。
主电机(清洗、吹干)转速可调。
清洗、吹干时间可调。
4.适用于3”/4”/5”/6”/8”Wafer;
适用于6”和8”的frame。
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1.一键式全自动执行清洗和吹干动作,整个过程无需人工干预。 2.采用彩色触摸屏作为人机操作界面;集成操作和错误、报警显示。 3.出水压力可调。 主电机(清洗、吹干)转速可调。 清洗、吹干时间可调。 4.适用于3”/4”/5”/6”/8”Wafer; 适用于6”和8”的frame。 |