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长度测量

长度测量

封闭式光栅尺能有效防尘、防切屑和防飞溅的切削液，是用于机床的理想选择。

敞开式光栅尺与读数头和光栅尺或钢带间没有机械接触。这些光栅尺的典型应用包括：测量机、比较仪和其它长度计量精密设备以及生产和测量设备，例如用在半导体工业中。

增量式光栅尺决定当前位置的方式是由原点开始数测量步距或细分电路的计数信号数量。海德汉的增量式光栅尺带有参考点，开机时必须执行参考点回零，操作非常简单、快捷。

**式光栅尺无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。光栅尺的**位置值通过EnDat接口或其它串行接口传输。

敞开式直线光栅尺

敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求极高的机床和系统。

典型应用包括：

•半导体业的测量和生产设备

•PCB电路板组装机

•超高精度机床

•高精度机床

•测量机和比较仪，测量显微镜和其它精密测量设备

•直驱电机

**式编码器

系列

说明

LIC

LIC敞开式直线光栅尺能够对行程达28 m和高速运动进行**位置测量。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。

输出位置值的编码器

系列

说明

LIP 200

LIP 211和LIP 291增量式直线光栅尺输出位置值的位置信息。正弦扫描信号在读数头中被高倍频细分且其计数功能将细分的信号转换成位置值。与所有增量式编码器一样，借助参考点确定**原点。

增量式编码器

系列

说明

LIP

超高精度

LIP敞开式直线光栅尺拥有极小的测量步距，极高的精度和重复精度。扫描方式为干涉扫描，测量基准为DIADUR相位光栅。

LIF

高精度

LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR工艺制造的玻璃基体光栅，采用干涉扫描方法。特点是精度高和重复精度高，安装特别简单，有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中（参见其单独“产品信息”）。

LIDA

高速运动和大测量长度

LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安装方式，安装特别简单。根据相应应用要求，metaLLUR光栅的基体可为钢带，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。

PP

二维坐标测量

PP二维编码器的测量基准是平面DIADUR工艺制造的相位光栅，采用干涉扫描方法。用于测量平面中位置。

LIP/LIF

高真空和超高真空技术

我们的标准编码器适用于低真空或中等真空应用。高真空或超高真空应用的光栅尺需要满足一些特殊要求。采用的设计和材质必须满足应用要求。更多信息，参见“真空中应用的直线光栅尺”产品信息。

以下敞开式直线光栅尺专用于高真空或超高真空应用环境。

• 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V

• 超高真空：LIP 481 U

LIC 4100

型号

基线误差 基体和安装方式 细分误差 测量长度

精度等级 局部

LIC 4113

LIC 4193

± 3 μm

± 5 μm

≤ ± 0.275 μm/ 10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光栅尺，嵌入在安装面中

± 20 nm 240 mm 至3040 mm

LIC 4115

LIC 4195

± 5 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预紧 ± 20 nm 140 mm 至 28440 mm

LIC 4117

LIC 4197

± 3 μm

± 5 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固定 ± 20 nm 240 mm 至 6040 mm

LIC 4119

LIC 4199

± 3 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 钢带光栅尺粘贴在安装面上 ± 20 nm 70 mm 至 1020 mm

LIC 4119 FS

± 3 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 钢带光栅尺粘贴在安装面上 ± 20 nm 70 mm 至 1820 mm

LIC 2100

型号

基线误差

基体和安装方式

细分误差

测量长度

精度等级 局部

LIC 2117

LIC 2197

± 15 μm

钢带光栅尺穿入在铝壳中并固定

± 2 μm 120 mm 至 3020 mm

LIC 2119

LIC 2199

± 15 μm 钢带光栅尺粘贴在安装面上 ± 2 μm 120 mm 至 3020 mm

LIP series for very high accuracy

Model

Basline error Substrate and mounting Interpolation error Measuring length

Accuracy grade

Intervall

LIP 382

± 0.5 μm ≤ ± 0.075 μm/ 5 mm Zerodur glass ceramic embedded in bolted-on Invar carrier

± 0.01 nm 70 mm to 270 mm

LIP 211

LIP 281

LIP 291

± 1 μm

± 3 μm ≤ ± 0.125 μm/ 5 mm Scale of Zerodur glass ceramic with fixing clamps

± 1 nm 20 mm to 3040 mm

LIP 6071 LIP 6081

±1 μm (bis Messlänge 1020 mm); ±3 μm ≤ ± 0.175 μm/ 5 mm Scale of Zerodur glass ceramic, by adhesive or fixing clamps ± 4 nm

20 mm to 3040 mm