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TKSCT气体过滤器系列有:

哈式合金气体过滤器

不锈钢气体过滤器

PTFE气体过滤器

IGS气体过滤器

陶瓷气体过滤器

材质结构

超高纯在线式过滤器■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构■高温及动态压力测试■不锈钢气体过滤器全316L不锈钢结构■尺寸紧凑，可变的末端连接■ PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为316L，内部电解抛光■ IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动■陶瓷气体过滤器内部为316L 电解抛光处理广泛应用于化学品行业

产品特性

▪ 流量大，12-800SLPM

▪ 受腐蚀的部位采用哈氏合金，适用于惰性气体及腐蚀性强的气体

▪ 卓越的性能满足大多数半导体工艺气体

▪ PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性

▪ 过滤等级为0.0025μm，即使在高流速的情况下，也不会引起出口端压力的下降

▪ 内部抛光等级为5Ra，防止其内部污染

▪ 通过高温氮气及去离子水清洁，满足半导体行业的标准

▪ 清洁及包装在100级洁净室内

▪ ****氦气检测