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Aera FC-D980系列数码 MFC（质量流量控制器）和 MFM（质量流量计）具有卓越的性能和通用性，从而大幅节约了成本且易于使用。多种输出选择允许进行模拟或数码控制，可用于目前大多数控制和通信配置。为适应您优先选择的价值和功能，该产品线拥有单气体和多气体、多范围的 MFC。多气体、多范围可以通过显著减少备件库存要求降低成本。RS-485 通信（带有转换器的 RS-232）与全面的诊断和警报功能相结合，达到了全面的监控和控制性能，操作参数就在您的弹指之间。

性能:

出色的**性、可重复性和稳定性

大幅节约了成本

**限度的运行通用性

****的可靠性

特点:

多气体、多范围选择

模拟、模拟/数码以及数码模式

压电控制阀

多警报和诊断功能

金属密封，泄漏率为1x10-10

电解抛光且超洁净气体湿润表面