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    金都路1065号

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供应SUSS光刻机用曝光灯
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产品: 浏览次数:278供应SUSS光刻机用曝光灯 
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最后更新: 2018-06-11 11:03
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详细信息
  • 类型:双氙气灯
  • 型号:9005
  • 灯泡形式:h7(近光灯泡)

SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具体良好的光通量,稳定的光强度以及**的品质受到业界的青睐。目前给苏斯光刻机配套的相关参数如下:

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

Lamps for SÜSS Equipment

Lamp type

Max life[h]

Equipment(适用机型)

HBO 200W/DC

1000

M**3

HBO 350W/S

600

MA4,MA6,MA8,MA150,M**3,M**21,UV300/500

HBO 1000W/D

1000

MA150,MA200,MA4,MA6,MA8

HBO 5000W/S

1000

MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数:

如果有需要suss 苏斯光刻机用欧司朗系列曝光灯的客户,请与我们公司联系,我们全线代理德国欧司朗曝光灯,原装进口,品质保证,交货及时。

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