SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具体良好的光通量,稳定的光强度以及**的品质受到业界的青睐。目前给苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography |
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Lamps for SÜSS Equipment |
Lamp type |
Max life[h] |
Equipment(适用机型) |
HBO 200W/DC |
1000 |
M**3 |
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HBO 350W/S |
600 |
MA4,MA6,MA8,MA150,M**3,M**21,UV300/500 |
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HBO 1000W/D |
1000 |
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 |
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HBO 5000W/S |
1000 |
MA300 |
以下是欧司朗曝光灯的技术参数:
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