上海有恒测控技术有限公司 已通过实名认证

有恒测控智能扩散硅压力变送器的制造中一般利用集成电路平面工艺，用杂志扩散或离子注入的方法形成电阻器。扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流边与扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流便与扩散层表面平行流过电阻器。在压力传感器的设计。制造时，需要了解不同温度下硅扩散层的压阻特性，选择合适的扩散条件，选用一定型号、晶向的扩散电阻以获得较高的灵敏度和晓得灵敏度系数，力求使压力传感器有良好的性能。扩散层的平均压阻系数：扩散层中杂质往往呈误差函数（恒定表面源条件下）或余误差函数（恒定表面浓度条件）分布。也就是说，表面杂质浓度高，电流便呈现不均匀分布。虽然应力在电阻的纵剖面是均匀分布的，而压阻系数取决于杂质浓度。以此在扩散层上电阻的改变的百分量是不同的。这又使扩散层中电流在纵向中心分布并造成压阻值和应力之间的非线性。 　　

扩散层硅的电阻温度特性与压力传感器的热零点漂移以及热灵敏度有密切的关系。压力传感器中扩散层电阻的非线性也是一个值得注意的问题。她会引起传感器压阻电桥的输出出现零点电漂移现象。所谓非线性是指扩散电阻的阻值与外加电压有关，不能保持恒定不变。 

有恒测控智能扩散硅压力变送器技术指标物理指标：

测量介质：气体、蒸汽、液体

精确度：±0.05%、±0.075%、±0.1%（包括从零点开始的线性、回差和重复性）

稳定性：±0.1%/3年

环境温度影响：≤±0.04%URL/10℃

静压影响：±0.05%/10MPa

电源：10～36V DC（推荐24V DC）

电源影响 : ±0.001% /10V (10～36V DC)，可忽略不计

调量程的参考精度：若 TD>10 (TD=较大量程 / 调节量程 ) 则为：±(0.075×TD)%

平方根输出精度为以上线性参考精度的 1.5 倍

环境温度：-40℃ ~85℃

测量介质温度：-40℃~120℃

贮藏温度：-40℃ ~105℃

显示：LCD、OLED

显示器显示模块温度：-20℃~70℃（LCD）、-40℃~80℃（OLED）

物理参数：

测量膜盒：不锈钢316L

膜片：不锈钢316L、哈氏合金C

过程法兰：不锈钢304、316L

螺母及螺栓：碳钢镀锌、不锈钢

填充液：硅油、氟油、高温硅油等

密封圈：丁腈橡胶、氟橡胶、聚四氟乙烯

变送器外壳：铝合金材质，外表喷涂环氧树脂

外壳密封圈：丁腈橡胶

铭牌：不锈钢304

重量：2.8kg（无：安装支架、过程连接）

外壳防护等级：IP67

防爆等级：ExdⅡCT6、ExiaⅡCT6