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氢气质量流量计 氦气质量流量计
◆ 流量可覆盖2sccm-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)
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◆ 独特传感器设计,极高精度及性能
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◆ 易于集成-标准接头尺寸
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◆ 报警及诊断功能
- 规格
- MC-AN600
- Full Scale Range (N2 Eqv)
- 单气体2-5000sccm
- Control Va*e Type 阀门类型
- 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
- Fitting 接头
- 1/4"VCR or 1/4"Swagelok
- Seals 密封
- 橡胶 Viton
- Response Time 响应时间
- 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
- Accuracy **性
- ≤满量程1%
- Linearity 线性度
- ≤ 满量程的±0.5%
- Repeatability 重复性
- ≤ 满量程的±0.2%
- Differential Pressure 压差
- 7 - 40psi
- Leak lntegrity 漏率
- Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
- Control Range 控制范围
- 满量程的2-****
- Max Operating Pressure *操作压力
- 50psi
- Proof Pressure 承受压力
- *值150psi
- Communication Type 通讯模式
- 模拟0-5V / 4-20mA
- Input Power
输入功率 - +15VDC ±2% at 50mA
-15VDC ±2% at 150mA
- Command Signal 控制信号
- 0-5 VDC / 4-20 mA
- Output Signal 输出模拟信号
- 0-5 VDC / 4-20 mA
- Power Consumption 功耗
- 3.1W
- Temperature Range 温度范围
- 5-45 Deg C
- Materials 材料
- 316LSS,316SS,PTFE
- Weight 重量
- 0.9kg