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微小气体质量流量计 微量气体质量流量计

MC-1900L 气体质量流量控制器

• ◆    流量可覆盖2sccm-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)
• ◆    兼容RS485和模拟通讯模式,通讯模式及协议
• ◆    杰出的**性 ≤ ±0.25%F.S及多气体多量程选择
• ◆    ****的响应时间及稳定性
• 规格
• MC-1900L

• Full Scale Range (N2 Eqv)
• 单气体2-5000sccm

• Control Valve Type 阀门类型
• 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

• Fitting接头
• 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

• Seals 密封
• 橡胶 Viton

• Response Time 响应时间
• ≤1Sec(超过满量程10%)

• Accuracy**性
• 25%-****:≤±1%S.P (满量程25%到****)2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

• Linearity 线性度
• ≤ 满量程的±0.5%

• Repeatability 重复性
• ≤ 满量程的±0.2%

• Differential Pressure 压差
• 7 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率
• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围
• 满量程的2-****

• Max Operating Pressure **操作压力
• 70psi

• Proof Pressure 承受压力
• **值140psi

• Communication Type 通讯模式
• 模拟0-5V / RS485

• Input Power输入功率
• +15VDC ±2% at 100mA-15VDC ±2% at 200mA

• Command Signal 输入模拟信号
• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-****

• Output Signal 输出模拟信号
• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-****

• Power Consumption 功耗
• 4.5W

• Temperature Range 温度范围
• 5-45 Deg C

• Materials 材料
• 316LSS,316SS,PTFE

• Weight 重量
• 0.9kg