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深圳市辉宏宇科技有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    制造商,服务商

  • 荣誉认证:

        

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    深圳高温烤箱,高温老化炉,老化测试设备,老化试验箱,实验室烤箱,高温隧道炉,UV固化炉,IR烤炉烘干线,PCB高温隧道炉,自动螺母机,铜螺母植入热熔机

  • 地     址:

    深圳市宝安区沙井街道共和社区第一工业区B栋

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无尘烤箱 无尘车间烘箱 半导体洁净烘箱
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产品: 浏览次数:529无尘烤箱 无尘车间烘箱 半导体洁净烘箱 
12KW: 380V
单价: 面议
最小起订量: 1
供货总量: 200
发货期限: 自买家付款之日起 15 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-03-02 20:18
  询价
详细信息
  • 加工定制:无尘车间专用烤箱
  • 型号:HY-WC6800无尘烤箱
  • 功率:12KW 380V
  • 材质:内胆镜面不锈钢板
  • 温度范围:常温-200度
  • 主要用途:半导体烤箱,晶体管烤箱,LED灯珠烤箱,IC芯片烤箱

无尘室烤箱,半导体专用无尘烤箱用于半导体制造中硅片、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;HMDS无尘烤箱可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了胶的用量,提高胶与硅片的黏附性。


 无尘烤箱 无尘车间烘箱 半导体洁净烘箱的简介

 半导体专用无尘烤箱用于半导体制造中硅片、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;HMDS无尘烤箱可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了胶的用量,提高胶与硅片的黏附性。


无尘烤箱 无尘车间烘箱 半导体洁净烘箱的特点

温控系统:采用进口温度控制器,内置斜率设定、PID自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多种功能采用六通道巡回检测,记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印;

软件系统:控制系统采用三菱系列高速型逻辑控制器,可与现场总线联机远程操控;

无尘烤箱的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

充氮系统:作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而*终替换空气或药液蒸汽的气氛。主要由氮气源、控制阀和喷头组成。


型号/设备名称HY-W6800丝印无尘烤箱/硅胶烤箱
内胆尺寸W1200×D1000×H1500mm外型尺寸W800×D650×H1500mm
温度范围RT-250升温时长15min(RT-150)
温度精确度±3运风方式水平循环运风
外观材质冷轧板烤漆内胆材质201#不锈钢
托盘材质不锈钢201#304316托盘层数2-15层选配
推车选材选型不锈钢车架/彩镀千层架车架层数2-15/30
电压默认380V(可选220V功率12KW-18KW
功能/装置漏电保护、缺相保护、过载保护、超温保护、计时断电、分时段烘烤
特性真材实料、温度精确均匀、快速加温、**省电、性能稳定
适用产品/行业线路板、硅胶橡胶、电子产品、玻璃面板、丝印移印、喷油烘干
备注尺寸、温度、材质、电压可按客户要求定制


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