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Aris/Soto精密设备主动防震台-至一科技

电子显微镜主动防震台,扫描隧道显微镜STM主动防震台,扫描探针显微镜SPM防震台,半导体设备主动防震台,激光设备防震台.....

用途：用于消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动 (包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入精密测量设备而引起的震动干扰，保证精密测量设备的运行环境和工作状态

应用：

光学显微镜

原子力显微镜AFM

电子显微镜（EM），包括扫面电子显微镜SEM，透射电子显微镜TEM

扫描隧道显微镜STM

扫描探针显微镜SPM

聚焦离子束系统FIB

双电子束系统DualBeam

半导体设备

光刻机

晶圆探测器

电阻拓展测试系统

激光设备

光通信设备......

性能：

主动防震自由度：6维

主动防震频率：0.5～100Hz

防震性能：-8dB gain at 1Hz；-20dB gain at 2Hz

Setting Time：<=0.1Sec

售后服务优势：

1、系统内置实时诊断工具

2、系统内置实时性能调整工具