(1)微焦斑X光管
(2)大面积SDD电制冷半导体探测器
(3)数字多道分析器
(4)超高精度三维移动平台
(5)全景和局部两个工业高清摄像头
(6)高低压电源
(7)激光定位装置及图像自动对焦技术
(8)开放式样品腔及铅玻璃屏蔽罩
(9)电动调节准直器
(10)防撞激光保护器
资料:仪器使用说明书(包括软件操作说明书和硬件使用说明书)、出厂检验合格证明、装箱单、保修单及其它应提供资料各一份。
标准附件
准直孔:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种(已内置于仪器中)
X射线膜厚测试仪性能:
满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求
φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
高精度移动平台可**定位测试点,重复定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光,可自动定位测试高度
定位激光确定定位光斑,确保测试点与光斑对齐
鼠标可控制移动平台,鼠标点击的位置就是被测点
高分辨率探头使分析结果更加**
良好的射线屏蔽作用