规格范围:(10-20)mm×(200-1450)mm×≤3000 mm
已供货产品规格:
9.5mm×160mm×925mm 15mm×133mm×778mm
19mm×200mm×2700mm 10mm×885mm×960mm
14mm×1400mm×1700mm 16mm×1431mm×1650mm
纯度规格:99.95%;99.98%
杂质元素 Impurity | Fe | Ni | Al | Si | Ca | Mg | C | Sn | Pb | Cr | Mn | Ti | K | O |
标准要求 (ppm) Standard | ≤60 | ≤30 | ≤20 | ≤30 | ≤30 | ≤10 | ≤50 | ≤30 | ≤20 | ≤50 | ≤10 | ≤20 | ≤10 | ≤40 |
密度:≥10.10g/cm3
组织:平均晶粒度小于150微米,典型靶材及表面组织如下图所示:
平均硬度范围:HV180-200
超声波探伤:**当量缺陷不大于0.5mm;
应用:在半导体集成电路、平面显示器和薄膜太阳能面板制造等领域作为电极或配线材料而广泛应用