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AZO靶材又称铝掺杂氧化锌靶材、高纯AZO靶，是一种高纯陶瓷溅射靶材，纯度稳定99.95%及以上（3N5级），氧化锌与氧化铝质量比约98比2，成本优于ITO且资源丰富。靶材密度达5.5克每立方厘米及以上，电阻率低于千分之3欧姆厘米，所成薄膜透光性好、方阻低、稳定性强。旋转靶经靶管焊接绑定，单件与整体结合率均达96%以上，溅射稳定、最长拼接4000毫米，晶粒平均不超25微米，溅射功率建议每米不超10千瓦，亦支持平面靶定制。用途上，AZO溅射靶材主要用于薄膜太阳能透明导电背电极、触摸屏与柔性显示的低成本透明导电膜，是光伏与新型显示降本增效优选材料。

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