AZO靶材又称铝掺杂氧化锌靶材、高纯AZO靶,是一种高纯氧化物陶瓷溅射靶材,纯度99.95%及以上(3N5级),氧化锌与氧化铝质量比约98比2,无铟稀缺之虞。靶材密度达5.5克每立方厘米及以上,电阻率低于千分之3欧姆厘米,薄膜透光率高、方阻低、耐候性好。旋转靶经靶管焊接绑定,单件与整体结合率均达96%以上,最长拼接4000毫米,亦支持平面靶定制。用途上,AZO溅射靶材主要用于CIGS、CdTe等薄膜太阳能电池的透明导电背电极,相较含铟ITO成本更低、适合大面积卷对卷制备,是光伏无铟化降本优选。
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