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ITO靶材又称氧化铟锡靶材、高纯ITO靶，是一种高纯透明导电氧化物陶瓷溅射靶材，纯度稳定99.99%及以上（4N级），氧化铟与氧化锡质量比约97比3，金属杂质单项不超每百万分之十、总量不超百万分之一百。靶材密度达7.0克每立方厘米及以上，电阻率低于万分之1.6欧姆厘米，所成氧化铟锡薄膜可见光透过率高、方阻低。旋转靶经靶管焊接绑定，单件与整体结合率分别达96%与97%以上，溅射稳定、利用率高，最长可拼接4000毫米，晶粒平均不超25微米，亦支持平面靶定制。用途上，ITO溅射靶材主要用于触摸屏、平板显示的透明导电膜，也用于车载显示透明电极镀膜。

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